Elaboration de couches minces
- Pulvérisation magnétron réactive
AJA (5 cathodes confocales)
Meca 2000 (3 cathodes)
Sominex (2 cathodes)
Caractérisations structurales
- AFM
- Microscope
Microscopie électronique en transmission (MET) (au CNRT )
Microscopie électronique à balayage (MEB) - Banc de mesure de conductivité électrique
- Rayons X : diffraction et réflectométrie
- FTIR : absorption infrarouge (transformée de Fourier)
- Caractérisation optique
M-Lines (mesures d’indices optiques et d’épaisseurs)
Raman
Ellipsomètre UVISEL Horiba Jobin-Yvon
Spectrophotomètre Perkin Elmer lambda 1050 with URA and 150mm aante - Photoluminescence
Banc de photoluminescence avec laser Argon CW (Innova 90C 458,476,488 et 514nm)
Banc de photoluminescence avec OPO (Oscillateur paramétrique optiquer) laser pulsé nanoseconde(EKSPLA NT342B from 210 to 2500nm)
Banc de photoluminescence en fonction de la longueur d’onde d’excitation (lampe au xénon1kW ).