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Fabrication

par CIMAP - publié le , mis à jour le

Le CIMAP possède une expertise dans le domaine de la synthèse de couches minces par pulvérisation magnétron ou dépôt de couches atomiques (ALD), de couches plus épaisses par Phase Liquide Epitaxiale (LPE), de cristaux par les méthodes de croissance Czochralski ou Bridgman.

AJA Sputtering machine
RF Magnetron sputtering AJA equipped with 5 cathodes allowing the simultaneaous sputtering of rare earth, silicon, silica, HfO2 targets..... Growth of Ag or Gold layers are also performed.
Sominex Sputtering Machine
RF magnetron sputtering Sominex dedicated to the TCO (Transparent Conductive Oxide), ZnO, In2O3, Gd2O3 doped or not with rare earth ions.
Czochralski and Bridgman growth methods
LPE (Liquid Phase Epitaxy) Growth