La plate-forme PELIICAEN a démontré ses capacités à produire des faisceaux d’ions focalisés mono et multichargés de tailles submicroniques sur ARIBE. Cette plateforme, avec sa nouvelle source d’ions ECR (Electron Cyclotron Resonance) permet la structuration 3D de films fins de matériaux, à l’échelle nanométrique.

Grâce à ses flux d’ions intenses (de l’ordre de 1017 ions/cm2/s) et son générateur d’impulsions permettant des taux de répétition de l’ordre du MHz, les faisceaux focalisés produits par la plateforme PELIICAEN sont applicables à la multi-analyse localisée avec des ions multichargés (MC-IBIC, MC-TOF-SIMS , MC-LEIS/MEIS) couplée avec SEM (Scanning Electron Microscope) et AFM (Atomic Force Microscope) ou STM (Scanning Tunneling Microscope) ou à des implantations ioniques uniques. Pour cette application, la présence de multiples détecteurs corrélés en temps, rend les implantations ioniques « déterministes »

Sur le plan de la recherche fondamentale, ce dispositif permet d’étudier les vitesses de la pulvérisation induite par les effets collectifs des ions multichargés.