PLATEFORME

CARACTÉRISATION

Le laboratoire CIMAP a une longue culture de caractérisation structurale et microstructurale des matériaux.

Il partage certains équipements de pointe (les microscopes électroniques en transmission) avec le laboratoire CRISMAT mais a également acquis grâce à l’équipex GENESIS et au projet RIN Plateforme PROSIMS ou d’autres appels à projets des équipements complémentaires.

Cette plateforme est utilisée essentiellement par les équipes NIMPH, PM2E et MADIR. Elle est ouverte aux autres équipes du laboratoire et à des collaborateurs extérieurs.

Ces équipements sont intégrés dans la fédération IRMA et certains d’entre eux sont proposé par le biais du réseau METSA.

Les équipements de cette plateforme permettent de préparer les lames minces de microscopie et de caractériser les matériaux étudiés au laboratoire, il s’agit de :

  • Dualbeam HELIOS Nanolab 660 FEI
  • Diffractomètre de Rayons X Dicover D8 Bruker
  • Spectromètre de perte d’énergie des électrons
  • SIMS
  • JEOL ARM 200F (avec le CRISMAT)
  • JEOL F200 (avec le CRISMAT)
  • Salle de préparation d’échantillons (dimpler, scie à fil, PIPS, …)

 

NOS AUTRES PLATEFORMES

N
Plateforme d'accueil CIRIL
N
Plateforme PNMO

FOCUSsur nos équipements

Dualbeam HELIOS NanoLab 660 FEI

High resolution characterization and sample preparation

High precision 5-axes motorized stage

  • XY: 150 mm piezo, Z:10 mm motorized, T:-10° +60°, R: endless- piezo driven

Field emission SEM (FESEM)

  • Elstar electron Column
  • Extreme high resolution with subnanometer resolution from 500V to 30 kV
  • 0.6 nm at 15 keV (0.7 nm at 1kV; 1,2nm at 1 kV at coincidence)

Focused Ion Beam (FIB)

  • Tomahawk column with fast ion beam blanker- 0.5kV-30kV, 0.1 pA to 65 nA (15 diaphragm position)
  • Resolution 4 nm at 30kV at coincidence

Detectors

  • In-Lens detector TLD- with SE and BSED modes, ICD detector, Secondary electron detector, ICE detector, retractable DBS detector, retractable STEM3+detector
  • Beam current measurement, CCD IR camera, Nav Cam
  • Detector EDS: AZTEC Advanced X-Max 80mm2 (Oxford instrument)
  • Detector EBSD: Aztec EBSD HKL advanced Nano
  • GIS: platinum deposition
  • Quickloader, charge neutralizeur, In-situ lift-out sample holder (Easy lift)
  • Nanobuilder (automatic fabrication of complex nanostructures)
Spectromètre de perte d'énergie des électrons

  • (EFTEM et EELS) installé sur un microscope
  • JEOL ARM 200 doublement corrigé
  • GATAN – QUANTUM ER (965)

Spectrométrie d’énergie de résolution 0,1 eV

  • Champ spectral de 2 keV
  • Acquisition rapide de spectres (1000 spectres/s)
  • Détecteur CCD (2Kx2K)
  • DualEELS
  • STEM EELS
  • Analyses EELS et EDS synchronisées
  • Opérationnel pour 2 tensions (80 kV et 200 kV)
Diffractomètre de rayons X D8 DISCOVER – BRUKER AXS

  • Haute Résolution – Géométrie In-Plane
  • Goniomètre horizontal q/2q ultra-GID
  • Berceau d’Euler avec les rotations Chi, Phi, et les translations X, Y, Z
  • Tube céramique KFL Cu 2.2kW twist-tube
  • Différents portes-échantillons, tête goniométrique et platine à inclinaison Zeta, Xi  motorisée

Optique 1aire:

  • Miroir Göbel
  • Monochromateur à 2 réflexions ACC2 (Ge022)
  • Absorbeur automatique, fentes, masques, filtres

Optique 2aire: plusieurs chemins optiques et détecteurs possibles :

  • PathFinder (fentes automatiques ou fentes de sollers 0.2° ou analyseur Ge022) + détecteur 0D: scintillateur NaI
  • Sollers ou fentes automatiques + détecteur 0D-1D (LYNXEYE XE 3° – Si)
  • Détecteur 2D  (Vantec 500)

Suite logicielle (EVA, MULTEX, LEPTOS, PDF-2) – Reconnaissance des optiques

Microscopie Électronique et à Force Atomique

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